ZrON^®低温温度计

ZrON^®低温温度计不仅具有灵敏度高、热响应快、工作温区范围大、热循环重复特性好和机械强度高等特性，还具有低磁阻、耐辐照和年漂移量小等优点，可广泛应用于低温/超低温系统、超导磁体系统、加速器、对撞机、同步辐射源、先进光源、中子源、高能物理、天文望远镜、宇宙微波背景辐射探测和量子计算等领域。

ZrON^®低温温度计的温度传感单元是磁控反应溅射生长的ZrON薄膜，通过调节磁控反应溅射中氮氧化物比例和生长温度来调节ZrON薄膜的温度响应范围，结合先进的光刻技术和封装工艺，能够实现从100mK-425K温度范围的全覆盖。

ZrON^®低温温度计有SD、Bobbin和Can三种标准封装，根据阻值范围和工作温区的不同分为ZrON-10，ZrON-50，ZrON-70和ZrON-80四款，典型温度准确性：±5mK@1K；±5mK @4.2K，±15mK@77K，±50mK@300K。

ZrON-10低温温度计典型阻值温度曲线

ZrON-10低温温度计典型灵敏度温度曲线.png

ZrON-10低温温度计典型灵敏度温度曲线

ZrON-10低温温度计典型无量纲灵敏度温度曲线.png

ZrON-10低温温度计典型无量纲灵敏度温度曲线

ZrON-10低温温度计与磁场相关的典型温度误差.png

ZrON-10低温温度计与磁场相关的典型温度误差(ΔT/T%)

ZrON®-10低温温度计与磁场相关的典型温度误差表(ΔT/T%)
	1T	2T	3T	4T	5T	6T	7T	8T	9T	10T	11T	12T	13T	14T
1.45K	0.34	1.19	2.49	3.46	4.16	4.79	5.44	6.06	6.69	7.29	7.94	8.57	9.26	9.94
2.5K	0.28	1.05	1.66	1.86	1.94	2.13	2.32	2.52	2.71	3.09	3.47	3.92	4.40	4.95
4.2K	0.05	0.08	0.11	0.13	0.16	0.18	0.24	0.30	0.36	0.47	0.59	0.68	0.77	0.90

ZrON-10，CX-1010， CX-1050三种温度计与磁场相关的典型温度误差(ΔT/T%)对比

ZrON-50，70和80三种温度计与磁场相关的典型温度误差(ΔT/T%)

ZrON-50，70和80三种低温温度计典型阻值温度曲线

ZrON-50，70和80三种低温温度计典型灵敏度温度曲线

ZrON-50，70和80三种低温温度计典型无量纲灵敏度温度曲线

ZrON-50，70和80三种低温温度计在1.5K时与磁场相关的典型温度误差表(ΔT/T%)
	1T	2T	3T	4T	5T	6T	7T	8T	9T
ZrON-50	0.504	1.402	1.934	2.253	2.4862	2.752	3.052	3.398	3.797
ZrON-70	0.272	0.788	1.054	1.154	1.234	1.353	1.546	1.812	2.138
ZrON-80	0.024	0.081	-0.108	-0.407	-0.400	-0.860	-0.953	-0.933	-0.860

ZrON^®低温温度计的三种标准封装

SD封装

质量：25mg

气密性陶瓷封装

超高真空兼容

尺寸：2mm×3.2mm×1.2mm

两根镀金铜引脚

Bobbin封装

低磁阻

质量：1.0g(不包括引线)

Bobbin封装

尺寸：直径8mm，高度5mm

两对四色线(红、绿、自然和蓝)，36AWG磷青铜双绞，长度1 米，聚酰亚胺绝缘层

Can封装

低磁阻

质量：0.38g(不包括引线)

Canister封装

尺寸：直径3mm，长度：8mm

两对四色线(红、绿、自然和蓝)，36AWG磷青铜双绞，长度1米，聚酰亚胺绝缘层

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ZrON®低温温度计